CKD小型流量传感器FSM3系列可在尘埃或水飞溅的环境下使用

1.具有相当于IP65的防护等级。 

2.即使在有尘埃的环境、维护时和清扫时溅到水滴也可以放心使用。 

洁净规格

1.标准备有防发尘包装（P70）、禁油规格（P80）

2.可根据装置的级别区分使用。

排气适用

流路中不使用树脂，适用于禁止排气的工序。

高精度・高响应

重复精度：±1％F.S.以内

显示精度：±3％F.S.以内

响应时间：50msec

可进行双向流体测量

有效缩短生产间隔时间

可任意设定流向进行测量。

1台可测量5种气体

气体种类切换功能

1.空气、氮气、氩气、二氧化碳、混合气体。

2.（混合比Ar:CO2（8:2）1台流量传感器即可对应。

3.可通过操作本体的按钮进行气体种类切换。